(相关资料图)

1、 湿式制程化学台

2、 Wet Station

3、 应用于半导体清洗方面的设备，湿式制程化学台产于美国。湿式制程化学台有标准型和更优的，标准型湿式制程化学台使用于一般要求，更好的湿式制程化学台具有优良性能。是一种灵活，安全和实惠的研发工具，湿蚀刻清洗设备EDC 系列常被应用在以溶剂和水为基础的处理过程：蚀刻-清洗-干燥，开发-冲洗-干燥，以及利用溶剂和水的清洗。其旋转涂敷机部分，具有多种板载滴胶阀的零孔隙度特富龙流体路径等特点，干净的ECTFE圆顶盖使用户能够实时观察过程的安全运行。